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弹性发射加工

弹性发射光学制造技术研究进展

2021年1月22日本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因 2021年10月7日弹性发射加工技术是从原子量级上提升光学元件表面中高频粗糙度的有效手段，可以实现超高精度平面和复杂曲面的制造，能够满足未来先进光源和极紫外光刻等现代光学工程对超光滑光学元件加工的精度要求。本文综述了弹性发射光学制造技术研究进展加工2021年11月12日本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性弹性发射光学制造技术研究进展道客巴巴本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性发射加工技术表面粗糙 ScienceChina 中国科学文献服务系统

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本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因素，分析了弹性 2021年2月22日弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的国弹性发射光学制造技术研究进展百度文库弹性发射加工是基于流体动力润滑效应获取超光滑表面的一种重要方式，但是目前该方法在进一步改善粗糙度上遇到瓶颈，本文为了突破这一问题，对双转弹性发射加工技术进行系统研究，主基于流体动力润滑效应的双转弹性发射加工技术研究学位万方本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性发射加工技术表面粗糙弹性发射光学制造技术研究进展【维普期刊官网】中文期刊

基于流体动力润滑效应的双转弹性发射加工技术研究百度学术

弹性发射加工是基于流体动力润滑效应获取超光滑表面的一种重要方式,但是目前该方法在进一步改善粗糙度上遇到瓶颈,本文为了突破这一问题,对双转弹性发射加工技术进行系统研究,主要研究摘要：弹性发射加工是基于流体动力润滑效应获取超光滑表面的一种重要方式,但是目前该方法在进一步改善粗糙度上遇到瓶颈,本文为了突破这一问题,对双转弹性发射加工技术进行系统研究,主要研究内容包括: (1)根据装置所需性能,对双转弹性发射加工装置进行设计从设计指标,性能参数,关键基于流体动力润滑效应的双转弹性发射加工技术研究百度学术2021年2月22日分析了弹性发射加工技术面临的问题，展望了未来的发展方向，期望为弹性发射加工技术进一步发展和应用提供一定的参考。关键词：先进光学制造；超精密光学；超光滑加工技术；弹性发射加工技术中图分类号：TG35628 术挑战。弹性发射光学制造技术研究进展百度文库2021年1月22日椭球面，超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的弹性发射光学制造技术研究进展

弹性发射光学制造技术研究进展

2021年12月30日本文介绍了弹性发射加工技术在超光滑光学元件制造领域的应用。该技术能够实现原子级水平的表面粗糙度和面形误差，适用于复杂曲面的加工。随着现代光学工程对超光滑光学元件的需求日益苛刻，弹性发射加工技术成为了重要的研究方向，可以为先进光源和光刻技术等现代光学工程提供优秀的 2021年10月8日本文根据弹性发射加工特点以及其精度要求，搭建了一套用于弹性发射加工的装置，并对抛光过程中的抛光正压力和抛光距离进行了分析，通过对石英玻璃进行抛光实验验证了本装置可以用于弹性发射加工，且抛光后石英玻璃表面粗糙度有所降低。弹性发射数控抛光系统设计及搭建百度文库2015年11月16日硕士学位论文弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究StudyofBehaviourofParticleGroupMovementinElasticEmissionMachiningmISachmm2学号：完成弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究豆丁网弹性发射光学制造技术研究进展优质文献中国光学期刊网国家科技图书文献中心 (权威机构) 维普期刊专业版万方掌桥科研查看更多知网钛学术《中国光学》官网钛学术 (全网免费下载)弹性发射光学制造技术研究进展百度学术

超精密研磨抛光方法

2016年8月12日弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。其加工原理如图1所示。加工时使用聚氨脂球作加工头，在高速旋转的加工头与被加工工件表面之间加上含有微细磨粒弹性,发射,加工, 半导体材料年份： 1989 收藏引用批量引用报错分享全部来源免费下载求助全文国家科技图书文献中心 (权威机构) 维普期刊专业版万方维普网掌桥科研查看更多钛学术 jinyueya 钛学术 (全网免费下载) 钛学术 (全网免费下载) 弹性发射加工技术:一种新型材料的加工技术百度学术弹性发射加工高速流体加工 DOI： CNKI:SUN:ZJYC05 被引量： 1 年份： 1989 收藏引用批量引用报错分享全部来源求助全文国家科技图书文献中心 (权威机构) 维普期刊专业版掌桥科研维普网知网查看更多通过弹性发射加工百度学术图13 弹性发射加工原理机理：微切削＋被加工材料的微塑性流动作用一、精细与超精细加工技术 ★ 液体动力抛光工作原理〔图14〕工具运动方向抛光工具抛光工具上开有锯齿槽，抛光液磨粒靠楔形挤压和抛光液的反弹，增加微切削作用。工件《超精密加工技术》PPT课件百度文库

纳米颗粒胶体射流抛光机理及试验研究百度学术

借鉴弹性发射加工的去除原理,本文提出了一种新的超光滑表面加工方法——纳米颗粒胶体射流抛光方法。纳米颗粒胶体射流抛光方法将界面化学、流体动力学理论与光学加工方法相结合,提供了一种可以实现原子级去处的加工方法。一种用于弹性发射加工的工具轮中国: CNA, [77] 喻波, 姚舜, 金春水基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法中国: CNA, [78] 张海涛, 金春水, 马冬梅, 于杰一种离子束面金春水中国科学院大学UCAS本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因素，分析了弹性发射加工技术面临的中国光学（中英文）2015年7月8日工件的表面质量ꎬ因而成为超光滑表面加工技术研究的热点方向ꎮ下面将介绍几种非接触式超光滑表面加工技术ꎬ总结其加工原理、特点以及国内外最新研究进展ꎮ 21 弹性发射加工日本大阪大学的Mori[7]首先提出弹性发射加工ꎬ超光滑表面加工技术研究进展

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2021年11月16日椭球面，超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的 2023年6月25日弹性发射加工（EEM）是获得超光滑表面的最有效技术之一。抛光轮将抛光颗粒供给到工件表面的特定位置，与工件发生化学反应，实现材料的无损去除。然而，抛光轮与浆料之间的相互作用以及原子去除机制仍不清楚。在这项研究中，在三维状态下考虑抛光轮和浆料之间的相互动态相互作用，并建立弹性发射加工材料去除的滚动模型分析,International Journal of 2021年10月17日之后Kanaoka M [2] 等人通过弹性发射加工对低热膨胀材料进行加工，发现工件在去除一定深度的材料后，其表面粗糙度RMS收敛到01 nm的恒定值。李庆宇 [ 3 ] 在现有的弹性发射加工的基础上，开展双转弹性发射加工技术的研究，在公转20 r/min、自转500 r/min下获得了 RMS 为0080 1 nm的超光滑表面。光学元件超光滑表面的流体动压抛光特性研究2021年7月24日弹性发射加工－EEM （Elastic Emission Machining ）在研磨金属材料时，虽不发生破碎，但是磨粒转动和刮削时，由于材料承受了塑性变形，通常形成与上述硅片相类似的加工变质层。相反，例如是多晶的金属材料，则越接近被加工的表层，晶粒越微细第5章超精密研磨与抛光PPT课件百度文库

弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究（可编辑）豆丁网

2014年8月13日硕士学位论文弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究学号: 完成日期: 年月大连理工大学大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。超精加工及其检测技术教育背景 201009201607 北京理工大学获得博士学位 200609201007 北京理工大学获得学士学位（2）弹性发射光学制造技术研究进展, Research progress of elastic emission machining in optical 张云中国科学院大学UCAS1弹性发射加工 2浮动抛光 3 动压浮离抛光 3砂轮结合剂砂轮结合剂有树脂类、金属类、陶瓷类等，以树脂类应用为广。对粗粒度砂轮，可用陶瓷结合剂。金属类、陶瓷类结合剂是目前超精密加工领域中研究的重要方面 1第三章精密与超精密磨料加工百度文库摘要：随着科学技术的发展,工业领域需要大量的大平面光学玻璃元件传统的光学加工方法不能满足大平面光学玻璃零件提出的加工效率和加工表面质量两个主要方面的要求,因此研究一种具有高效率和高精度的光学零件加工方法具有重要的实际意义弹性射流抛光是一种新型的光学零件精密加工面向光学玻璃的精密加工技术研究百度学术

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2021年2月22日分析了弹性发射加工技术面临的问题，展望了未来的发展方向，源自文库望为弹性发射加工技术进一步发展和应用提供一定的参考。关键词：先进光学制造；超精密光学；超光滑加工技术；弹性发射加工技术中图分类号：TG35628外界对于其关键加工技术还不甚了解，从而导致对其加工结果难以复现。在浮法加工的基础上，基于弹性发射加工原理提出了流体动压超光滑加工方法。流体动压超光滑加工通过控制纳米抛光颗粒与光学元件表面的弹性域碰撞，利用界面化流体动压超光滑加工关键工艺参数优化 NUDT2008年3月19日超精密研磨包括机械研磨、化学机械研磨、浮动研磨、弹性发射加工以及磁力研磨等加工方法。超精密研磨加工出的球面不球度达0．025ttm，表面粗糙度达 RaO．003μm。利用弹性发射加工可加工出无变质层的镜面，粗糙度可达。超精密加工技术概述机床商务网维普中文期刊服务平台，是重庆维普资讯有限公司标准化产品之一，本平台以《中文科技期刊数据库》为数据基础，通过对国内出版发行的15000余种科技期刊、7000万篇期刊全文进行内容组织和引文分析，为高校图书馆、情报所、科研机构及企业用户提供一站式文献服务。弹性发射光学制造技术研究进展【维普期刊官网】中文期刊

精密与超精密加工机械制造技术百度文库

加工与检测一体化精密检测是精密与超精密加工的必要条件，并常常成为精密与超精密加工的关键。抛光轮：由聚氨基甲酸（乙）酯制成，磨料直径 01～001μm 微粉(磨粒) 加压抛光轮悬浮液工件小间隙弹性发射加工原理2021年10月7日尤其对如何实现柱面，椭球面，超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。弹性发射光学制造技术研究进展光学加工与制造光行天下 2010年1月21日弹性发射加工示意图社会学道客巴巴弹性发射加工示意图我的文档知识全面,详细而又清晰,方理便。化学机械研磨超音波振动研磨弹性发射加工EEM加工时使用聚氨脂球作加工头在高速旋转。中兴设备PS接通。木粉机是目前国内制粉行业更新换代的最理想弹性发射加工eem设备2022年5月11日新，磁流变抛光、气囊加工、弹性发射加工、等离子体加工等先进光学制造技术应运而生。等离子体加工技术作为一种非接触式的化学加工方法，是多学科交叉出现的新型光学加工技术，与应力盘、小磨头等传统加工技术相比：等离等离子体光学加工关键技术研究现状

流体动压超光滑加工关键工艺参数优化

外界对于其关键加工技术还不甚了解，从而导致对其加工结果难以复现。在浮法加工的基础上，基于弹性发射加工原理提出了流体动压超光滑加工方法。流体动压超光滑加工通过控制纳米抛光颗粒与光学元件表面的弹性域碰撞，利用界面化2010年12月13日目前，国内外研磨加工主要还是采用散粒磨料在慢速研磨机上研磨。其特点是加工精度高、加工设备简单、投资少，但是加工精度不稳定、加工成本高、效率低。 3几种纳米级研磨加工方法 31 弹性发射加工弹性发射加工装置（Elastic Emissi on Machining超精密研磨技术的原理、应用和优势机床商务网本论文的工作内容包括以下几个方面: (1)阐述了光学玻璃零件的抛光机理，根据水射流的理论基础，结合弹性发射加工技术和磨料水射流抛光技术的机理研究分析了弹性射流抛光的材料去除机理，分析了抛光过程中会对加工效果产生影响的几个主要工艺参数。面向光学玻璃的精密加工技术研究本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因素，分析了弹性发射加工技术面临的中国光学（中英文）

弹性发射加工技术:一种新型材料的加工技术百度学术

弹性,发射,加工, 半导体材料年份： 1989 收藏引用批量引用报错分享全部来源免费下载求助全文国家科技图书文献中心 (权威机构) 万方维普期刊专业版掌桥科研维普网查看更多 jinyueya 钛学术 (全网免费下载) 钛学术钛学术 (全网免费下载) 2006年10月18日机械加工必然残留有加工变质层, 加工中还伴随着化学反应等复杂现象 [ 2, 3] , 材料去除的原理是从一层原子到数层原子乃至数十层原子几种状态的复合。图2 EEM 装置示意图弹性发射加工装置( Elast ic Emission Machining, Hale Waihona Puke Baidu 。超精密研磨技术的现状及发展趋势百度文库2024年6月17日弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。其加工原理如图1所示(图1略) 。加工时使用聚氨脂球作加工头，在高速旋转的加工头与被加工工件表面之间加上含有微细磨粒(01～001µm)的研磨液，并产生一定几种超精密研磨抛光方法的加工原理、特点、加工对象和应用 2015年2月14日弹性发射加工技术一种新型材料的加工技术加工可以看成是一种物理控制表面形成过程。理想的加工会形成一种几何以及晶体均为完整的表面。这种“完整”如新型电子材料的性能具有极其重要的意义。然而，“完整”表面的加工必须采用分辨率极为精确的原子级加工方式才能完成，通过改造通用弹性发射加工技术：一种新型材料的加工技术道客巴巴